XPS-7半導體材料氣體測試儀

描述：XPS-7半導體材料氣體測試儀特長：
只要更換傳感器單元就可以檢測對象氣體
用盒式傳感器單元無需進行檢測器校正
大幅度削減成本和維護時間

規格：

型號

XPS-7
檢測原理

定電位電解式
檢測氣體對象

臭氧
檢測范圍

0～10ppm
分辨率

0.01ppm
指示精度

FS±10%以內
報警模式

2段報警方式
報警方式

蜂鳴器（間歇

產品型號：
廠商性質：生產廠家
更新時間：2026-03-01
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產品介紹/ PRODUCT PRESENTATION

XPS-7半導體材料氣體測試儀 特長：
只要更換傳感器單元就可以檢測對象氣體
用盒式傳感器單元無需進行檢測器校正
大幅度削減成本和維護時間

XPS-7半導體材料氣體測試儀規格：

型號	XPS-7
檢測原理	定電位電解式
檢測氣體對象	臭氧
檢測范圍	0～10ppm
分辨率	0.01ppm
指示精度	FS±10%以內
報警模式	2段報警方式
報警方式	蜂鳴器（間歇音）、報警燈閃爍
應答時間	60秒以內（60%應答）
電源	5號堿性干電池4節或AC 變壓器
電池使用時間	連續12小時以上
外型尺寸	W762×H150×D128（除去突起物）
檢測方式	泵吸式
使用溫度范圍	0℃～40℃
重量	約1.3kg
附件	肩背皮帶、5號堿性干電池4節、過濾紙兩張
選購件	AC 變壓器、傳感器通電臺、數據收集配套元件

檢測氣體一覽表：

XPS-7對象氣體一覽表
型號	氣體	F.S	型號	氣體	F.S	型號	氣體	F.S
XPS-7NH	NH3	100ppm	XPS-7GH	GeH4	1ppm	XPS-7HS	H2S	50ppm
XPS-7SH	SiH4	25ppm	XPS-7CL	CL2	5ppm	XPS-7CO	CO	250ppm
XPS-7DC	SiH2CL2	25ppm	XPS-7CF	CLF3	1ppm	XPS-7DS	Si2H6	25ppm
XPS-7AS	AsH3	250ppm	XPS-7HC	HCL	25ppm	XPS-7F2	F2	5ppm
XPS-7PH	PH3	1ppm	XPS-7HF	HF	10ppm	XPS-7OZ	O3	1ppm
XPS-7BH	B2H6	500ppm	XPS-7HB	HBr	10ppm
XPS-7SE	H2Se	250ppm	XPS-7NO	NO	100ppm

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XPS-7半導體材料氣體測試儀

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